Датчик линейных перемещений LIDA 277 ,LIDA 287
Область применения открытых линейных датчиков:
- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Технические характеристики |
LIDA 207 |
|||||||||||||
Стандарт измерения Коэффициент теплового расширения |
Стальная лента; период решетки 200 мкм αtherm ≈ 10 x 10-6 K-1 (стекло) |
|||||||||||||
Класс точности |
± 15 мкм |
|||||||||||||
Масштабирование ленты с рулона * |
3 м, 5м, 10 м |
|||||||||||||
Опорные метки |
каждые 100 мм |
|||||||||||||
Масса |
Масштабная лента 20 г/м Масштабируемая лента 70г/м |
Сканирующая головка |
LIDA 28 | LIDA 27 | ||
Интерфейс |
∼1 Vpp | TTL | ||
Интегрированная интерполяция Период сигнала |
– 200 мкм |
10-fold 20 мкм |
50-fold 4 мкм |
100-fold 2 мкм |
Частота среза Частота сканирования
Разделение края |
≥ 50МГц - - |
-
≥ 50МГц
≥ 0.465 мкм |
- ≤ 25 МГц ≥ 0,175 мкм
|
-
≤ 12.5 МГц
≥ 0.175 мкм |
Скорость перемещения |
≤ 600 м/мин |
≤ 300 м/мин |
≤ 150м/мин |
|
Скорость перемещения |
≤600 м/мин |
≤ 300 м/мин |
≤ 150 м/мин |
|
Ошибка интерполяции |
± 2 мкм |
– |
||
Электрическое подключение |
Кабель, 1 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub |
|||
Длина кабеля |
≤ 30 м; (с кабелем HEIDENHAIN) |
|||
Источник питания |
DC 5 В ±0.25 В |
|||
Потребляемая мощность |
≤ 155 мА |
≤ 140 мА (без нагрузки) |
||
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 6 мс |
≤ 200 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 500 м/с2 (IEC 60068-2-27) |
|||
Температура эксплуатации |
-10°C - 70 °C |
|||
Масса
|
Сканирующая головка ∼ 20 г (без кабеля)
Разъем 32 г Соединительный кабель ∼ 30г/м |
AK LIDA 10 G8 RW 34S09 01 0.30 E ~11µApp 200.00 04 01 .. K | 297220-02 | |
AK LIDA 10 G8 RW 34S09 01 0.50 E ~11µApp 200.00 04 01 .. K | 297220-05 | |
AK LIDA 10C G8 RN 34S09 01 0.30 E ~11µApp 200.00 04 01 .. K | 309237-02 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 3.00 E ~1Vpp 50.00 L6 01 .. K | 554592-01 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 1.00 E ~1Vpp 50.00 L6 01 .. K | 554592-02 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 2.00 E ~1Vpp 50.00 L6 01 .. K | 554592-05 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 0.35 E ~1Vpp 50.00 L6 01 .. K | 554592-06 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 0.25 E ~1Vpp 50.00 L6 01 .. K | 554592-07 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 0.50 E ~1Vpp 50.00 L6 01 .. K | 554592-08 | |
AK LIDA 48R G8 RW 34S12 21 0.30 E ~1Vpp 360.00 H2 01 .. L | 745543-02 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 3.00 E ~1Vpp 50.00 L6 01 0026 K | 813054-01 | |
AK LIDA 28 G8 RN 16S15 41 1.00 E ~1Vpp 50.00 L6 01 0026 K | 813054-02 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 1.00 E TTLx50 25.00 90 OT IL 01 .. K | 1178994-09 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 1.00 E TTLx10 50.00 90 OT IL 01 .. K | 1178994-11 | |
AK LIDA 151 old unit | 272541-ZY | |
AK LIDA 36.02 KF 3.00 | 278991-01 | |
AK LIDA 36.01 KF 3.00 | 278991-02 | |
AK LIDA 36.03 KF 3.00 | 278991-03 | |
AK LIDA 36.04 KF 3.00 | 278991-04 | |
AK LIDA 36.05 KF 3.00 | 278991-05 | |
AK LIDA 36.06 KF 3.00 | 278991-06 | |
AK LIDA 36.07 KF 3.00 | 278991-07 | |
AK LIDA 36.02 KJ 1.00 | 278991-08 | |
AK LIDA 36.02 KF 3.00 relay | 278991-11 | |
AK LIDA 36.01 KF 3.00 relay | 278991-12 | |
AK LIDA 36.03 KF 3.00 relay | 278991-13 | |
AK LIDA 36.04 KF 3.00 relay | 278991-14 | |
AK LIDA 36.05 KF 3.00 relay | 278991-15 | |
AK LIDA 36.06 KF 3.00 relay | 278991-16 | |
AK LIDA 36.07 KF 3.00 relay | 278991-17 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 3.00 E TTLx50 25.00 90 OT MI L7 01 .. K | 554565-01 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 3.00 E TTLx10 50.00 90 OT OH L7 01 .. K | 554565-02 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 3.00 E TTLx100 12.50 90 OT MI L7 01 .. K | 554565-03 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 6.00 E TTLx50 25.00 90 OT MI L7 01 .. K | 554565-05 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 0.50 E TTLx50 25.00 90 OT MI L7 01 .. K | 554565-07 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 6.00 E TTLx100 12.50 90 OT MI L7 01 .. K | 554565-08 | |
encoder diagnos. set APS 27 | 576091-01 | |
PS 27 | 576092-01 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 3.00 E TTLx50 25.00 90 OT MI L7 01 0026 K | 822135-01 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 3.00 E TTLx100 12.50 90 OT MI L7 01 0026 K | 822135-02 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 3.00 E TTLx10 50.00 90 OT OH L7 01 0026 K | 822135-03 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 0.50 E TTLx50 25.00 90 OT MI L7 01 0026 K | 822135-04 | |
AK LIDA 27 G8 RN 16S15 41 6.00 E TTLx100 12.50 90 OT MI L7 01 0026 K | 822135-07 | |
AK LIDA 27 G8 RN 98B10 41 0.60 E TTLx50 25.00 UV OT MI PC 01 0026 K | 823877-02 | |
AK LIDA 27 G8 RN 98B10 41 0.43 E TTLx50 25.00 UV OT MI PC 01 0026 K | 823877-03 | |
AK LIDA 27 G8 RN 98B10 41 0.20 E TTLx50 25.00 UV OT MI PC 01 0026 K | 823877-04 | |
AK LIDA 27 G8 RN 98B10 41 0.15 E TTLx50 25.00 UV OT MI PC 01 0026 K | 823877-08 |