Открытые линейные датчики (измерительные линейки) используются в станках и установках, где необходима высокая точность отображаемых величин.
Область применения открытых линейных датчиков:
- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Датчик линейных перемещений LIP 6071, LIP 6081
• Для ограниченного пространства установки
• Для измерения шагов до 2 нм
• Для высоких скоростей перемещения и больших измерительных длин
• Определение положения с помощью направляющих и концевых выключателей
• Стандарт измерения крепится клеем или фиксирующими зажимами
• Для измерения шагов до 2 нм
• Для высоких скоростей перемещения и больших измерительных длин
• Определение положения с помощью направляющих и концевых выключателей
• Стандарт измерения крепится клеем или фиксирующими зажимами
Все характеристики
Описание
Характеристики
|
Технические характеристики |
LIP 6001 |
|||||||||||||
|
Стандарт измерения Коэффициент теплового расширения |
Фазовая решетка OPTODUR на стеклокерамике Zerodur; период решетки 8 мкм
αtherm = (0 ± 0,1) x 10-6 K-1 (стеклокерамика Zerodur)
αtherm »8 x 10-6 K-1 (стекло) |
|||||||||||||
|
Класс точности |
± 1 мкм (только для стеклокерамики Zerodur до измерительной длины 1020 мм); ± 3 мкм |
|||||||||||||
|
Исходная ошибка |
≤ ± 0,175 мкм / 5 мм |
|||||||||||||
|
Длина измерения в мм |
20 30 50 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 870 920 970 1020 1140 1240 1340 1440 1540
1640 1840 2040 2240 2640 2840 3040 |
|||||||||||||
|
Опорные метки |
Одна в средней точке измерения длины |
|||||||||||||
|
Масса |
1,1г + 0,11 г/мм |
|||||||||||||
|
Сканирующая головка |
LIP 608 | LIP 607 | |||||
|
Интерфейс |
∼1 Vpp | TTL | |||||
|
Интегрированная интерполяция Период сигнала |
– 4 мкм |
5-fold 0.8 мкм |
10-fold 0.4 мкм |
25-fold 0.16 мкм |
50-fold 0.08 мкм |
100-fold 0.04 мкм |
500-fold 0.008 мкм |
|
Частота среза -3 дБ |
≥ 1 МГц |
||||||
|
Частота сканирования |
– |
– – ≤ 312.5 МГц |
– ≤312.5 МГц ≤ 156.25 МГц |
≤250 МГц ≤125 МГц ≤62.5 МГц |
≤125 МГц ≤62.5 МГц ≤31.25 kHz |
≤62.5 МГц ≤31.25 МГц ≤15.63 МГц |
≤12.5 МГц ≤6.25 МГц ≤ 3.13 МГц |
|
Разделение края |
– |
– – ≤ 0.135 мкм |
– ≤0.07 мкм ≤0.135 мкм |
≤0.03 мкм ≤0.07 мкм ≤0.135 мкм |
|||
|
Скорость перемещения |
≤240 м/мин |
-- – ≤75 м/мин |
– ≤ 75 м/мин ≤ 37 м/мин |
≤60 м/мин ≤30 м/мин ≤15 м/мин |
≤30 м/мин ≤15 м/мин ≤7.5 м/мин |
≤15 м/мин ≤7.5 м/мин ≤3.7 м/мин |
≤3 м/мин ≤1.5 м/мин ≤0.75 м/мин |
|
Ошибка интерполяции Потенциальный шум RMS |
±4 нм 0.4 нм (1 МГц) |
– |
|||||
|
Электрическое подключение |
Кабельный выход слева / справа и прямой / угловой
1 VPP: кабель, 0,5 м, 1 м или 3 м, разъем D-sub (мужской) 15-контактный
TTL: кабель, 0,5 м или 1 м, с 15-контактным разъемом D-sub (мужской) |
||||||
|
Длина кабеля |
С кабелем HEIDENHAIN: Самонаведение, ограничение: 10 м; только инкрементный: £ 20 м; при регулировке сигнала с PWM 21: £ 3 м |
||||||
|
Источник питания |
DC 5 В ±0.5 В |
||||||
|
Потребляемая мощность |
≤ 150 мА |
≤250 мА (без нагрузки) |
|||||
|
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 6 мс |
≤ 500 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 1000 м/с2 (IEC 60068-2-27) |
||||||
|
Температура эксплуатации |
–10 °C - 70 °C |
||||||
|
Масса
|
Сканирующая головка ∼ 5 г (без кабеля)
Разъем АК LIP 608 ∼71 г; AK LIP 607 ∼74 г Соединительный кабель ∼ 22 г/м |
||||||