Инкрементальные линейные энкодеры для очень высокой точности и высокой стабильности положения
Область применения открытых линейных датчиков:
- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Технические характеристики |
LIP 201 |
|||||||||||||
Стандарт измерения Коэффициент теплового расширения |
Фазовая решетка OPTODUR на стеклокерамике Zerodur; период решетки 2,048 мкм αtherm = (0±0.1) x 10–6 K–1 |
|||||||||||||
Класс точности* |
±1 мкм |
±3 мкм |
||||||||||||
Исходная ошибка |
≤ ±0.125 мкм/5 мм |
|||||||||||||
Длина измерения |
20 30 50 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 870 920 970 1020 |
370 420 470 520 570 620 670
720 770 820 870 920 970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040
|
||||||||||||
Опорные метки |
Один в средней точке измерения длины |
|||||||||||||
Масса |
1.1 г + 0.11 г/мм |
Сканирующая головка |
LIP 21 |
LIP 29F |
LIP 29M |
LIP 28 |
Интерфейс |
EnDat 2.2 |
Fanuc Serial Interface |
Mitsubishi high speed Interface |
∼ 1 VPP |
Обозначение для заказа |
EnDat22 |
Fanuc02 |
Mit02-4 |
– |
Интегрированная интерполяция |
16384-fold (14 bits) |
– |
||
Тактовая частота |
≤ 16 MHz |
– |
– |
|
Время вычисления tcal |
≤ 5 мс |
– |
– |
|
Шаг измерения |
0.03125 нм (31.25 пм) |
– |
||
Период сигнала |
– |
0.512 мкм |
||
Частота среза –3 dB |
– |
≥ 3 MHz |
||
Скорость перемещения |
≤ 120 m/min |
≤ 90 m/min |
||
Ошибка интерполяции Потенциальный шум RMS |
±0.4 нм 0.12 нм |
±0.4 нм 0.12 нм (3 MHz) |
||
Электрическое подключение |
Кабель, 0,5 м, 1 м, 2 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub (мужской); интерфейсная электроника в разъеме |
|||
Длина кабеля |
≤30 м (с кабелем HEIDENHAIN) |
|||
Источник питания |
DC 3.6 V to 14 V |
DC 5 V ±0.25 V |
||
Потребляемая мощность2) (макс.) |
При 14 В: 2270 мВт; при 3,6 В: 2400 мВт |
– |
||
Потребляемый ток |
При 5 В: 300 мА (без нагрузки, типичный) |
≤ 390 мA |
||
Лазер |
Сканирующая головка и шкала: класс 1; сканирующая головка не установлена: класс 3B |
|||
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 11 мс |
≤ 200 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 400 м/с2 (IEC 60068-2-27) |
|||
Температура эксплуатации |
0 °C - 50 °C |
|||
Масса |
Сканирующая головка: 59 г; разъем: 140 г; кабель: 22 г / м |
Оставьте заявку
Перезвоним в течение рабочего дня. Обсудим задачи, найдем оптимальное решение и запланируем работы.
Будем на связи!