Датчик линейных перемещений LIP 211, 281, 291

LIP 201

Стандарт измерения

Коэффициент теплового расширения

Фазовая решетка OPTODUR на стеклокерамике Zerodur; период решетки 2,048 мкм

αtherm = (0±0.1) x 10–6 K–1

Класс точности*

±1 мкм

±3 мкм 

Исходная ошибка

≤ ±0.125 мкм/5 мм

Длина измерения

  20    30     50    70  120  170  220

270  320  370  420  470  520  570

620  670  720  770  820  870  920

970  1020  

  370   420    470   520   570   620   670     

  720   770    820   870   920   970  1020

1140  1240  1340 1440 1540 1640  1840

2040  2240 2440  2640 2840 3040

Опорные метки

Один в средней точке измерения длины

 Масса

1.1 г + 0.11 г/мм

LIP 21

LIP 29F

LIP 29M

LIP 28

Интерфейс

EnDat 2.2

Fanuc Serial Interface

Mitsubishi high speed Interface

∼ 1 VPP

Обозначение для заказа

EnDat22

Fanuc02

Mit02-4

–

Интегрированная интерполяция

16384-fold (14 bits)

–

Тактовая частота

≤ 16 MHz

–

–

Время вычисления t_cal

≤ 5 мс

–

–

Шаг измерения

0.03125 нм (31.25 пм)

–

Период сигнала

–

 0.512 мкм

Частота среза –3 dB

–

 ≥ 3 MHz

Скорость перемещения

≤ 120 m/min

≤ 90 m/min

Ошибка интерполяции 

Потенциальный шум RMS

±0.4 нм

0.12 нм

±0.4 нм

0.12 нм (3 MHz)

Электрическое подключение

Кабель, 0,5 м, 1 м, 2 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub (мужской); интерфейсная электроника в разъеме   

Длина кабеля

 ≤30 м (с кабелем HEIDENHAIN)

Источник питания

DC 3.6 V to 14 V

DC 5 V ±0.25 V

Потребляемая мощность²⁾ (макс.)

При 14 В: 2270 мВт; при 3,6 В: 2400 мВт

–

Потребляемый ток

При 5 В: 300 мА (без нагрузки, типичный)

≤ 390 мA

Лазер

Сканирующая головка и шкала: класс 1; сканирующая головка не установлена: класс 3B

Вибрация 55 Hz - 2000 Hz

Удар 11 мс

≤ 200 м/с2 (IEC 60068-2-6)

≤ 400 м/с2 (IEC 60068-2-27)

Температура эксплуатации

0 °C - 50 °C

Масса

Сканирующая головка: 59 г; разъем: 140 г; кабель: 22 г / м