Датчик линейных перемещений LIP 211, 281, 291

Для шагов измерения 1 нм и меньше
• Для высоких скоростей перемещения и больших измерительных длин
• Стандарт измерения крепится фиксирующими зажимами
• Состоит из шкалы и головки сканирования

Все характеристики

Описание

Открытые линейные датчики используются в станках и установках, где необходима высокая точность отображаемых величин.
Область применения открытых линейных датчиков:

- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода

Характеристики

Технические характеристики

LIP 201

Стандарт измерения

Коэффициент теплового расширения

Фазовая решетка OPTODUR на стеклокерамике Zerodur; период решетки 2,048 мкм

αtherm = (0±0.1) x 10–6 K–1

Класс точности*

±1 мкм

±3 мкм

Исходная ошибка

≤ ±0.125 мкм/5 мм

Длина измерения

20 30 50 70 120 170 220

270 320 370 420 470 520 570

620 670 720 770 820 870 920

970 1020

370 420 470 520 570 620 670

720 770 820 870 920 970 1020

1140 1240 1340 1440 1540 1640 1840

2040 2240 2440 2640 2840 3040

Опорные метки

Один в средней точке измерения длины

Масса

1.1 г + 0.11 г/мм

Сканирующая головка	LIP 21	LIP 29F	LIP 29M	LIP 28
Интерфейс	EnDat 2.2	Fanuc Serial Interface	Mitsubishi high speed Interface	∼ 1 VPP
Обозначение для заказа	EnDat22	Fanuc02	Mit02-4	–
Интегрированная интерполяция	16384-fold (14 bits)			–
Тактовая частота	≤ 16 MHz	–		–
Время вычисления t_cal	≤ 5 мс	–		–
Шаг измерения	0.03125 нм (31.25 пм)			–
Период сигнала	–			0.512 мкм
Частота среза –3 dB	–			≥ 3 MHz
Скорость перемещения	≤ 120 m/min			≤ 90 m/min
Ошибка интерполяции Потенциальный шум RMS	±0.4 нм 0.12 нм			±0.4 нм 0.12 нм (3 MHz)
Электрическое подключение	Кабель, 0,5 м, 1 м, 2 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub (мужской); интерфейсная электроника в разъеме
Длина кабеля	≤30 м (с кабелем HEIDENHAIN)
Источник питания	DC 3.6 V to 14 V			DC 5 V ±0.25 V
Потребляемая мощность²⁾ (макс.)	При 14 В: 2270 мВт; при 3,6 В: 2400 мВт			–
Потребляемый ток	При 5 В: 300 мА (без нагрузки, типичный)			≤ 390 мA
Лазер	Сканирующая головка и шкала: класс 1; сканирующая головка не установлена: класс 3B
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 11 мс	≤ 200 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 400 м/с2 (IEC 60068-2-27)
Температура эксплуатации	0 °C - 50 °C
Масса	Сканирующая головка: 59 г; разъем: 140 г; кабель: 22 г / м

Опции

Здесь вы найдете информацию о предыдущих моделях и старых продуктах.

LIP 382 120 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	297531-01
LIP 382 70 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	297531-A1
LIP 382 150 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	334809-A1
LIP 382 220 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	334809-A2
LIP 382 270 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	334809-A3
LIP 382 170 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	334809-A4
LIP 382 220 G0 0.5 P 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	348129-02
LIP 382 270 G0 0.5 P 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	348129-03
LIP 382 70 G0 0.5 E 74S12 17 0.50 ~1Vpp 2000.00 3X 01 ..	354509-01

Назад к списку