Инкрементальные линейные энкодеры для простой установки
Область применения открытых линейных датчиков:
- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Технические характеристики |
LIF 401R |
|||||||||||||
Стандарт измерения Коэффициент теплового расширения |
Фазовая решетка OPTODUR на стеклокерамике Zerodur; период решетки 8 мкм
αtherm = (0 ± 0,1) x 10-6 K-1 (стеклокерамика Zerodur)
αtherm »8 x 10-6 K-1 (стекло) |
|||||||||||||
Класс точности |
± 1 мкм (только для стеклокерамики Zerodur до измерительной длины 1020 мм); ± 3 мкм |
|||||||||||||
Исходная ошибка |
≤ ± 0.225 мкм / 5 мм |
|||||||||||||
Длина измерения в мм |
70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 870 920 970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640 |
|||||||||||||
Опорные метки |
Одна в средней точке измерения длины |
|||||||||||||
Масса |
0,8 г + 0,08 г/мм |
Сканирующая головка |
LIF 48 | LIF 47 | ||||
Интерфейс |
∼1 Vpp | TTL | ||||
Интегрированная интерполяция Период сигнала |
– 4 мкм |
5-fold 0.8 мкм |
10-fold 0.4 мкм |
25-fold 0.16 мкм |
50-fold 0.08 мкм |
100-fold 0.04 мкм |
Частота среза -3 дБ |
≥ 1 МГц |
|||||
Частота сканирования |
– |
≤ 500 МГц ≤ 250 МГц ≤ 125 МГц |
≤ 250 МГц ≤ 125 МГц ≤ 62.5 МГц |
≤ 250 МГц ≤125 МГц ≤ 62.5 МГц |
≤ 100 МГц ≤ 50 МГц ≤ 25 МГц |
≤ 50 МГц ≤ 25 МГц ≤ 12.5 МГц |
Разделение края |
– |
≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм
≥ 0.370 мкм |
≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм
≥ 0.370 мкм |
≥ 0.040 мкм ≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм |
≥ 0.040 мкм ≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм |
≥ 0.040 мкм ≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм |
Скорость перемещения |
≤240 м/мин |
≤ 120 м/мин ≤ 60 м/мин
≤ 30 м/мин |
≤ 60 м/мин ≤ 30 м/мин
≤ 15 м/мин |
≤ 60 м/мин ≤ 30 м/мин ≤15 м/мин |
≤ 24 м/мин ≤ 12 м/мин ≤ 6 м/мин |
≤ 12 м/мин ≤ 6 м/мин ≤ 3 м/мин |
Ошибка интерполяции Потенциальный шум RMS |
± 12 нм 0.6 нм (1 МГц) |
– |
||||
Электрическое подключение |
Кабель 0,5 м, 1 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub, интерфейсная электроника в разъеме |
|||||
Длина кабеля |
Инкрементный: ≤ 30 м; самонаведение, предел: ≤ 10 м; (с кабелем HEIDENHAIN) |
|||||
Источник питания |
DC 5 В ±0.25 В |
|||||
Потребляемая мощность |
≤ 175 мА |
≤ 180 мА (без нагрузки) |
||||
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 6 мс |
≤ 200 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 500 м/с2 (IEC 60068-2-27) |
|||||
Температура эксплуатации |
0°C - 50 °C |
|||||
Масса
|
Сканирующая головка ∼ 25 г (без кабеля)
Разъем 75 г Соединительный кабель ∼ 38 г/м |
Оставьте заявку
Перезвоним в течение рабочего дня. Обсудим задачи, найдем оптимальное решение и запланируем работы.
Будем на связи!