Инкрементальные линейные энкодеры для диапазонов измерений до 6 м
Область применения открытых линейных датчиков:
- Технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Технические характеристики |
LIDA 409 |
|||||||||||||
Стандарт измерения Коэффициент теплового расширения |
Макетная решетка METALLUR на стеклянную керамику или стекло; период решетки 20 мкм αtherm ≈ 10 x 10-6 K-1 (стекло) |
|||||||||||||
Класс точности |
± 3 мкм, ± 15 мкм |
|||||||||||||
Исходная ошибка |
≤ ± 0.750 мкм / 50 мм |
|||||||||||||
Длина измерения в мм |
70 120 170 220 270 320 370 420 520 620 720 820 920 1020 |
Масштабная лента: 2 м, 4 м, 6 м |
||||||||||||
Опорные метки |
Один в средней точке измерения длины |
Каждые 50 мм | ||||||||||||
Масса |
31 г/мм |
Сканирующая головка |
LIDA 48 | LIDA 47 | |||
Интерфейс |
∼1 Vpp | TTL | |||
Интегрированная интерполяция Период сигнала |
– 20 мкм |
5-fold 4 мкм |
10-fold 2 мкм |
50-fold 0.4 мкм |
100-fold 0.2 мкм |
Частота среза -3 дБ |
≥ 400МГц |
||||
Частота сканирования |
– |
≤ 400 МГц ≤ 200 МГц ≤ 100 МГц
≤ 50 МГц |
≤ 200 МГц ≤ 100 МГц ≤ 50 МГц
≤ 25 МГц |
≤ 50 МГц ≤ 25 МГц ≤ 12.5 МГц
|
≤ 25 МГц ≤ 12.5 МГц ≤ 6.25 МГц
|
Разделение края |
– |
≥ 0.100 мкм ≥ 0.220 мкм
≥ 0.465 мкм
≥ 0.950 мкм |
≥ 0.100мкм ≥ 0.220 мкм
≥ 0.465 мкм
≥ 0.950 мкм |
≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм ≥ 0.370 мкм |
≥ 0.080 мкм ≥ 0.175 мкм ≥ 0.370 мкм |
Скорость перемещения |
≤480м/мин |
≤ 480 м/мин ≤ 240 м/мин
≤ 120 м/мин
≤ 60 м/мин |
≤ 240 м/мин ≤ 120 м/мин
≤ 60 м/мин
≤ 30 м/мин |
≤ 60 м/мин ≤ 30 м/мин ≤15 м/мин |
≤ 30 м/мин ≤ 15 м/мин ≤ 7,5 м/мин |
Ошибка интерполяции Потенциальный шум RMS |
± 45 нм |
– |
|||
Длина кабеля |
≤ 30 м; (с кабелем HEIDENHAIN) |
||||
Источник питания |
DC 5 В ±0.25 В |
||||
Потребляемая мощность |
≤ 155 мА |
≤ 140 мА (без нагрузки) |
|||
Вибрация 55 Hz - 2000 Hz Удар 6 мс |
≤ 200 м/с2 (IEC 60068-2-6) ≤ 500 м/с2 (IEC 60068-2-27) |
||||
Температура эксплуатации |
-10°C - 70 °C |
||||
Масса
|
Сканирующая головка ∼ 20 г (без кабеля)
Разъем 32 г Соединительный кабель ∼ 30 г/м |