Абсолютный линейный датчик для измерения длины до 3 м
Область применения открытых линейных датчиков:
- Установки автоматического монтажа в микроэлектронике
- Ультрапрецизионное оборудование
- Высокоточные металлообрабатывающие станки
- Компараторы, измерительные машины и микроскопы прецизионная измерительная техника
- Линейные привода
Шкала |
LIC 4003 |
Коэф. теплового расширения |
Градация METALLUR на стеклянную керамику или стекло
αtherm ≈ 8 x 10-6 K-1 (стекло)
αtherm = (0 ± 0,5) x 10-6 K-1 (керамика Robax) |
Класс точности* |
± 1 мкм (только для керамики Robax), ± 3 мкм, ± 5 мкм |
Ошибка базовой линии |
≤± 0,275 мкм / 10 мм |
Длина измерения ML* в мм |
240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 (керамическая плитка Robax до макс. ML 1640) |
Масса |
3 г + 0,11 г / мм длина измерения |
Сканирующая головка |
LIC 411 |
LIC 419F |
LIC 419M |
LIC 419P |
||||
Интерфейс |
EnDat 2.2 |
Fanuc Serial Interface α i Interface |
Mitsubishi high speed interface |
Panasonic serial interface |
||||
Обозначение для заказа |
EnDat22 |
Fanuc05 |
Mit03-4 |
Mit02-2 |
Pana01 |
|||
Дискретность измерения* |
0.01 мкм (10 нм) 0.005 мкм (5 нм) 0.001 мкм (1нм) |
0.01 мкм (10 нм) 0.005 мкм (5 нм) |
||||||
Тактовая частота
(время вычисления tcal) |
≤ 5 мкс 16 МГц |
– |
||||||
Скорость перемещения |
≤600 м/мин |
|||||||
Ошибка интерполяции |
±20 нм |
|||||||
Электрическое подключение |
Кабель, 1 м или 3 м с 8-контактным муфтом М12 или 15 разъемом D-sub |
|||||||
Длина кабеля (с кабелем HEIDENHAIN) |
≤100 м |
≤ 50 м |
≤ 30 м |
≤50 м |
||||
Электропитание |
DC 3.6 V to 14 V |
|||||||
Потребляемая мощность |
3.6 В:≤ 700 мВт 14 В:≤ 800 мВт
|
3.6 В:≤850 мВт 14 В:≤950 мВт |
||||||
Потребляемый ток |
5 В: 75 мА (Без нагрузки) |
5 В: 95 мА (Без нагрузки) |
||||||
Вибрация 55 Гц to 2000 Гц Удар 6 мс |
≤500 м/с2 (EN 60068-2-6) ≤ 1000 м/с2 (EN 60068-2-27) |
|||||||
Температура эксплуатации |
–10 °C to 70 °C |
|||||||
Масса |
Сканирующая головка Соединительный кабель Соединитель |
≤18 г (Без кабеля ) 20 г/м Муфта М12: 15 г; Разъем D-sub: 32 гα |